南昌诺思微系统有限公司MEMS射频滤波芯片生产线建设项目环境影响评价文件拟批准情况公示
来源: 日期:2019-07-15 【字体:
 

根据建设项目环境影响评价审批程序的有关规定,我局拟对南昌诺思微系统有限公司MEMS射频滤波芯片生产线建设项目环境影响评价文件作出批复决定。为了解公众对项目建设的态度和环境环保方面的意见及建议,现将建设项目的基本情况予以公示,公示期为本公示发布之日起5个工作日。

听证告知:依据《中华人民共和国行政许可法》,自公告起五日内申请人、利害关系人可对上述拟作出建设项目环境影响评价文件批复决定要求听证。

联系电话:0791-88167016  南昌市环保局高新分局

地址:高新区管委会北五楼514

项目名称

MEMS射频滤波芯片生产线建设项目

建设地点

南昌高新区天祥北大道600号南昌高新微电子科技园厂房内

建设单位

南昌诺思微系统有限公司

环评机构

南昌市环境科学研究院有限公司

建设项目概况

项目位于江西省南昌市南昌高新技术产业开发区天祥北大道600号,租赁南昌高新微电子科技园厂房,占地面积38992m2,总建筑面积47759m2,设置生产研发厂房、综合动力、化学品库、硅烷站(本项目不利用)、大宗气体站、氢氦站、废水处理站等,属新建性质。年产11亿颗MEMS射频滤波芯片,其中RSFP1701系列7亿颗,RSFP2402系列2.4亿颗,RSFP2302系列1.6亿颗。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

(一)废水污染防治

营运期的含氟废水、废气洗涤塔废水、POU淋洗废水经CaCl2絮凝沉淀预处理,含氨废水、有机废水经两级AO+MBR预处理,含铜废水经化学沉淀预处理,研磨废水经混凝沉淀预处理,预处理后的废水再与酸碱废水经酸碱中和处理;生活污水经化粪池处理,外排废水中CODcrBOD5SSNH3-N达到瑶湖污水处理厂接管标准要求,氟化物、磷酸盐、总铜满足《污水综合排放标准》(GB8978-1996)中表4一级标准要求,由市政污水管网排入瑶湖污水处理厂处理,尾水入赣江南支。

(二)废气污染防治

营运期酸性废气来源于清洗、湿法蚀刻、去胶工序,主要污染物为氟化物、硫酸雾、HCl、磷酸雾等,由密闭集气系统收集后进入酸性废气洗涤塔处理;工艺尾气来源于掺杂、化学气相淀积、干法蚀刻工序,主要污染物为磷化氢、氯化氢、BCl3N2O(以氮氧化物计)、CF3CF4SF6、硅烷、SiCl4、氯气、二氧化硫(BCl3以硼及其化合物计、SiCl4以氯化氢计,CF3CF4SF6SiF4以氟化物计),经水洗+催化氧化处理后,再接入酸性废气洗涤塔处理;处理后的酸性废气和工艺尾气由一根30米高排气筒(1#)排放,氟化物、硫酸雾、氯化氢、氯气、氮氧化物、二氧化硫的排放浓度和排放速率均能满足《大气污染物综合排放标准》(GB 16297-1996)表2中二级标准限值要求,磷酸雾、磷化氢排放浓度和排放速率均能满足《上海市地方标准 大气污染物综合排放标准》(DB 31/933-2015)表1限值要求,硅烷的排放浓度和排放速率均能满足《荷兰排放导则NER》中排放限值要求。

有机废气来源于清洗、去胶、光刻(涂胶、前烘、后烘)工序,主要污染物为VOC,经密闭集气系统收集后进入沸石转轮+TO炉焚烧系统处理;TO炉焚烧废气主要污染物为烟尘、二氧化硫、氮氧化物,与处理后的有机废气由一根30米高排气筒(3#)排放,VOC的排放浓度及排放速率均能满足天津市《工业企业挥发性有机物排放控制标准》(DB 12/524-2014)表2中电子工业半导体制造行业限值要求,烟尘、二氧化硫、氮氧化物排放浓度、排放速率均能满足《锅炉大气污染物排放标准》(GB 13271-2014)表2燃气锅炉标准限值。

天然气锅炉废气主要污染物为烟尘、SO2NOx,由30米高排气筒(4#)排放,烟尘、SO2NOx排放浓度、排放速率均能满足《锅炉大气污染物排放标准》(GB 13271-2014)表2燃气锅炉标准限值。

碱性废气来源于碱洗清洗工序,主要污染物为氨,由密闭集气系统收集后进入碱性废气洗涤塔处理,处理后废气由30米高排气筒(2#)排放;污水站恶臭主要污染物为氨、硫化氢,将生化池、污泥池密闭加盖收集至洗涤塔处理,处理后废气由30米高排气筒(5#)排放;未被收集的污水站恶臭以无组织形式排放,氨、硫化氢的排放速率为8.0×10-3kg/h8.0×10-4kg/h;氨、硫化氢的厂界浓度能满足《恶臭污染物排放标准》(GB 14554-63)表1中限值要求,两个排气筒氨、硫化氢的排放速率能满足《恶臭污染物排放标准》(GB 14554-63)表2中限值要求;经环评预测,项目污水站需设置100米卫生防护距离,测绘报告显示,项目防护距离范围内无环境敏感点。

(三)噪声污染防治

选用低噪声的机械设备,合理布置设备,采取减震、消声、隔声、吸音等措施,减少噪声对周边环境的影响。厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中3类标准要求。

(四)固体废物污染防治

废抛光垫委托外运填埋,更换的腔体护壁委托专业单位清洗回收,不合格品委托专业单位回收处理,废包装材料外卖综合利用;危险废物暂存于危险废物暂存库,交有资质单位处理;生活垃圾交环卫部门处理。危废暂存库按《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2001)(2013年修订)要求建设。

(五)地下水污染防治

项目对生产研发厂房、化学品库、废水处理站等采取重点防渗,对综合动力站采取一般防渗,对大宗气体站、住门卫、硅烷站、门卫采取简单防渗;污水处理站下游设置1个动态监测井等措施减轻对地下水的影响。